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掃描電子顯微鏡的應(yīng)用越來(lái)越廣泛

 更新時(shí)間:2020-07-19 點(diǎn)擊量:1727
  掃描電子顯微鏡廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
  顯微鏡在材料科學(xué)、金屬材料、陶瓷材料半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域,進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析。各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量,晶體/晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測(cè)量。
  其工作原理為:在高真空的鏡筒中,由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束后,在樣品表面逐點(diǎn)進(jìn)行掃描轟擊,產(chǎn)生一系列電子信息(二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等),由探測(cè)器將各種電子信號(hào)接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
  聚焦電子束對(duì)樣品表面掃描時(shí),由于樣品不同部位表面的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同,致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同,導(dǎo)致顯像管的電子束強(qiáng)度也隨著不斷變化,在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。根據(jù)探測(cè)器接收的電子信號(hào)的不同,掃描電子顯微鏡可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像、吸收電子圖像等。

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