臺(tái)式掃描電子顯微鏡的分辨率比光學(xué)顯微鏡高得多，達(dá)到納米級別。此外，SEM還可以觀察非導(dǎo)體材料，而傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡只能觀察導(dǎo)體材料。也正是由于SEM的高分辨率和大深度，它被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米科學(xué)和生物學(xué)等領(lǐng)域的研究。
利用電子束的相互作用來觀察材料的表面形貌和成分分布。通過電子源、采樣槍、電磁透鏡系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的協(xié)同工作，SEM可以提供高分辨率的圖像，并為科學(xué)研究和工程應(yīng)用提供重要的信息。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的常見問題及解決方法：
1.啟動(dòng)后無圖像顯示。
解決方法：
-確保電源連接正常，電源開關(guān)打開。
-檢查與計(jì)算機(jī)的連接，確保連接正確。
-檢查計(jì)算機(jī)是否安裝了相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)程序，如果沒有，需要安裝驅(qū)動(dòng)程序。
-檢查電子束的管電流和電壓設(shè)置是否正確。
2.圖像模糊。
解決方法：
-清潔試樣臺(tái)和透鏡，確保無灰塵和污垢。
-檢查電子槍聚焦和透鏡的設(shè)置，調(diào)整狀態(tài)。
-檢查加速電壓設(shè)置，如果過高或過低可能會(huì)導(dǎo)致圖像模糊。
-檢查試樣臺(tái)是否平穩(wěn)，如果不平穩(wěn)可能會(huì)導(dǎo)致圖像模糊。
3.圖像偏斜或傾斜。
解決方法：
-檢查試樣臺(tái)是否水平，如果不水平可能會(huì)導(dǎo)致圖像偏斜。
-檢查試樣臺(tái)的移動(dòng)狀態(tài)，如果移動(dòng)不穩(wěn)定可能會(huì)導(dǎo)致圖像傾斜。
-檢查與計(jì)算機(jī)的連接，確保連接穩(wěn)定，避免信號(hào)干擾。
4.圖像亮度不均勻。
解決方法：
-檢查電子槍亮度設(shè)置，調(diào)整為適當(dāng)?shù)牧炼取?br />
-檢查透鏡和投影系統(tǒng)，確保無污垢和缺損。
-根據(jù)試樣的性質(zhì)和要求，適當(dāng)調(diào)整電子束的開啟時(shí)間和掃描速度，以獲得均勻的圖像亮度。
5.出現(xiàn)電磁干擾或波紋。
解決方法：
-將其與其他電磁干擾源(如高頻設(shè)備)保持一定的距離。
-檢查電源線是否正確接地，如果接地不良可能會(huì)導(dǎo)致電磁干擾。
-電源線與其他設(shè)備的電源線隔離，避免共線干擾。
